二、技术规格及参数

   测试量程：

VMSE2010:200*100*200mm  重量：170kg

VMSE3020:300*200*200mm  重量：230kg

          VMSE4030:400*300*200mm  重量：330kg

VMSE5040:500*400*200mm  重量：430kg

玻璃台承重：15kg

X/Y轴精度（um）：≤3+L/200（L为被测长度单位mm）

Z轴精度（um）：≤3+L/100（L为被测长度单位mm）

物镜焦距：82mm

最小显示值：0.1um

物镜倍率：0.7-4.5X

显示器综合放大倍率（23寸）：约37-237X（可加配2X物镜，或0.5X目镜）

控制系统：CNC闭环控制系统

光源系统(手动)：表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

操作系统：WIN7/WIN10

主机材质：采用00级天然大理石（分体式）

电脑：专用电脑

软件：INSPEC 2D

光栅尺：金属光栅尺1.0um

导轨：高精度交叉导轨

CCD相机：80W像素模拟相机

激光笔：点红光（测量时找样品位置用）

选配件：Z轴探针、同轴光。